除溫濕度外，潔凈度和氣壓控制也是微環(huán)境控制的重要環(huán)節(jié)。恒溫恒濕箱需配備高效過(guò)濾系統(tǒng)，如 HEPA 過(guò)濾器，可過(guò)濾掉 0.3μm 以上的顆粒，防止污染物對(duì)柔性器件造成損害。針對(duì)部分對(duì)氣壓敏感的器件，可集成氣壓調(diào)節(jié)模塊，實(shí)現(xiàn)微正壓或負(fù)壓環(huán)境的精準(zhǔn)調(diào)控，模擬不同海拔或密閉空間的工作場(chǎng)景。